二手 DNS / DAINIPPON 80A #9262878 待售
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ID: 9262878
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Developer track system, 8"
Chemical cabinet
Cassette to cassette
With power cabinet
Temperature controller
Developer chemical
No manual
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是一種用於半導體和電子工業的光刻設備。它是一種先進、高性能的光刻膠系統,為各種應用提供高精度的分辨率和優異的效果。該單元設計用於各種半導體加工和電子應用,如單級金屬蝕刻和隔離,通過蝕刻、輪廓控制和高縱橫比特征。對於需要高分辨率和高寬高比蝕刻的應用尤其流行。DNS 80A光刻機由兩個組件組成。第一種成分是化學品和光濾催化劑的混合物。這種混合物允許光通過材料並被化學物質吸收,導致光掩模特征被蝕刻。第二個組件是照片蒙版,其中包含需要蝕刻的圖案。照片蒙版通常是一個負片圖像,它允許光線通過,從而創建所需的蝕刻圖案。光致抗蝕劑工具可用於濕法和幹法加工。通過濕法處理,將化學物質與水混合,然後塗在基材上。施用後,利用光源將所需的圖樣暴露出來,化學物質轉化為其不溶性形式,使圖樣被蝕刻到基材中。經過幹燥處理,化學物質直接噴灑在基板上,然後暴露在光源下。這產生了與濕法處理相同的效果,但避免了加水的額外步驟。DAINIPPON 80A光致抗蝕劑資產為包括矽、金屬和聚合物在內的各種基材材料提供了卓越而精確的結果。該模型可與紫外線、發光二極管(LED)、離子束源等多種光源配合使用。此外,它還與一系列蝕刻和剝離解決方案兼容。設備使用方便,每次都能提供一致準確的結果。此外,它具有很高的性價比,可以與各種現有的光掩模系統一起使用。該系統還可以與一系列蝕刻劑和剝離溶劑一起使用,從而實現更多的通用性。最後,該裝置設計為與一系列基材兼容,並提供卓越的分辨率和長寬比性能。
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