二手 DNS / DAINIPPON 80B #9022469 待售

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製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9022469
(2) Coaters / (3) Developers track system, 8".
DNS/DAINIPPON 80B是一種用於半導體晶圓加工的高性能自動光刻塗層設備。它是為異常精確和均勻的抵抗應用而設計的。該系統結合了多種技術,包括自動抗蝕分配、晶片映射、手動或自動晶片轉移和可配置的空化。該裝置的自動抗寒分配技術旨在以最高的效率準確測量、控制和分配各種冷熱抗寒劑。它具有各種分配頭,包括一個全方位的分配頭,在晶圓表面均勻抵抗覆蓋。機器由計算機控制,允許操作員調整和監視分配參數。DNS 80B的晶片映射特征使用激光掃描儀精確測量和映射晶片上的抗蝕層。這有助於消除塗層過程中的不一致,並使用戶能夠為每個晶圓設置自定義映射參數。晶圓傳輸工具允許將晶圓從分配站手動或自動傳輸到曝光室。自動化資產使用機械臂快速移動晶圓,而手動模型則需要人工操作員。最後,DAINIPPON 80B還包括一個可配置的空化設備。空化是從晶片表面去除多余抗蝕劑的過程,有助於提高薄膜的均勻性。系統的空化單元可以配置為控制空化過程的強度,允許使用者將抗蝕劑的均勻性調整到他們的精確規格。總體而言,80B是一種可靠和精確的自動光刻塗層機,設計用於在半導體晶片上產生一致和均勻的抗蝕層。它具有高精度分配、晶圓映射和空化能力,提供了一種可靠、高效、準確的塗覆晶圓的方法。
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