二手 DNS / DAINIPPON 80B #9035863 待售

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DNS / DAINIPPON 80B
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9035863
晶圓大小: 8"
Track system, 8" (2) Coaters.
DNS/DAINIPPON 80B是為精密光刻應用而設計的領先光刻設備。它是一個高性能的水基系統,結合了強附著力和專門的特點,提供光刻與優越的效果。光致抗蝕劑單元由兩個主要成分組成:光致抗蝕劑顯影劑和光致蝕劑剝離器。顯影劑是雙組分堿性酸與雙組分季銨復合潤濕劑的組合。這種顯影劑能夠處理正負抗蝕劑,使塗層膜有選擇地成像。顯影劑還會在每個光刻步驟後移除抗蝕劑中任何不需要的層。光致抗蝕劑剝離器是銅鹽、粘土和有機矽材料的混合物,從抗蝕劑中去除任何選定的層,而不會損壞下面的底物。銅基鹽作為表面活性劑來輔助去除過程,而粘土則有助於防止表面對抗蝕劑和基材的損害。這些元件的組合使DNS 80B機器具有優異的光刻效果。抗蝕劑附著力強,線寬準確,分辨率高.此外,該工具還提高了邊緣分辨率,消除了光刻型尖頂形狀缺陷.該資產還提供了廣泛的過程緯度,以實現更好的過程控制和提高產品收益率。光刻膠模型是防水的,因此在剝離過程之後不需要空氣幹燥步驟。它也具有很高的耐用性,提供了良好的初始附著力,使其能夠承受多重發展和剝離循環,而不會降低質量。該設備由於功耗低、循環時間短,性價比高。總之,DAINIPPON 80B光刻系統是一種可靠、精確的光刻單元技術,為各種工藝應用提供了優越的效果。它結合了強大的附著力和專門的部件,每次都能提供可靠的結果。該機器可提高邊緣分辨率、工藝緯度和耐用性,從而提高產品產量。
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