二手 DNS / DAINIPPON 80B #9079272 待售

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DNS / DAINIPPON 80B
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9079272
(1) Coater / (2) Developer Track System.
DNS/DAINIPPON 80B是一種最先進的光刻(光像)設備,能夠產生高精度的光刻特性,具有出色的均勻性。它是一個現代化的光刻膠系統,建立在一個專門的平臺上,旨在充分利用最新的先進制造工藝。該單元采用定向和熱銅沈積(DCT)技術相結合,在各種基板上實現了均勻的發展和優越的附著力。這種高精度的光刻技術旨在實現優越和可重復的結果,具有更小的幾何形狀和更好的承受高溫蝕刻過程熱量的能力。機器的一個關鍵特點是它能夠利用各種材料。該工具能夠從各種材料中產生光致抗蝕劑特性,包括傳統的抗蝕劑(半導體制造中使用的光致抗蝕劑材料)和電成型鎳等新材料。這種材料組合確保了從薄膜到鍍層通孔的最高質量特征和結構。該資產將集成的多重曝光單元與自動化開發模型相結合,從而實現了具有高吞吐量的精確且統一的特征開發。開發設備采用了漸進式濕法,包括各種不同的階段工藝,例如用於清潔表面的預處理和用於去除多余光刻膠的後處理。開發單元的溫度是可調的,可以根據光刻膠使用的材料類型來控制。光刻膠系統還具有一個全自動的過程控制單元,可以監視和跟蹤機器的所有參數,以最高的質量和效率確保最佳的過程可重復性。該工具還具有各種數據記錄功能和診斷實用程序,可準確描述整個光刻膠工藝。總之,DNS 80B光致抗蝕劑資產是一種先進的技術,為高精度光致抗蝕劑特性提供了優異的均勻性。憑借其自動化的過程控制模型、可靠的數據記錄能力以及使用各種材料的能力,該設備能夠以盡可能高的可重復性和質量實現高效生產。
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