二手 DNS / DAINIPPON 80B #9243276 待售

DNS/DAINIPPON 80B是一種革命性的光阻系統,專門為晶片級設備的生產提供卓越的性能。它是一種增強的化學機械工藝，結合了化學洗滌、納米級低溫退火程序和印記光刻方法，在微觀和納米結構的生產中賦予介電層極好的分辨率和粘附性能。化學過程需要從晶片表面去除天然氧化物，以便形成一個幹凈和粘附的層，確保光刻膠和器件層之間的理想結合。納米級低溫退火工藝通過鎖定所需的特性，提高了器件層的穩定性和均勻性。結合印記光刻技術，DNS 80B系統有助於生產晶片刻度器件，具有極好的分辨率到55nm。該技術將超靈敏的光刻膠層與高度先進的設計模板結合在一起。光致抗蝕劑通過先進的自旋塗層工藝應用，並暴露於短暫的光脈沖中，以精確確定將產生的圖樣和相應結構。由於活化溫度低，暴露區域在暴露後立即冷卻下來。這樣可以更好的模式控制、配準精度和邊緣質量，同時還可以受益於低電氣泄漏。此外，一個控制良好的蝕刻工藝使設備能夠形成緊密的線寬和高度均勻的特征。最後，光致抗蝕劑在化學溶劑中剝離，使器件層得以應用。綜上所述，DAINIPPON 80B光致抗蝕劑系統已被證明是一種可靠可靠的工藝，生產出性能更好的晶圓規模器件。其增強的化學機械工藝，結合先進的光刻方法，保證了極精細的分辨率和精湛的附著性能。這樣可確保高性能設備具有卓越的均勻性和緊密的線寬。