二手 DNS / DAINIPPON 80B #9250084 待售

DNS / DAINIPPON 80B
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9250084
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
(2) Coater system, 6" 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON 80B是一種水基光刻設備,專為寬幅光刻應用而設計。該系統采用高分辨率的光敏乳劑,它對各種波長都是光敏的。光刻膠配制成在暴露於紫外線時產生非常精細的圖案。該單元由顯影劑、粘合劑和四組分光致抗蝕劑溶液組成。顯影劑是一種堿性溶液,用於沖洗掉暴露於暴露過程表面的任何多余的光刻膠,或者在不影響暴露過程的情況下增加額外的保護。粘合劑將光致抗蝕劑粘結到表面,並為蝕刻和其他工藝提供持久的圖像。光致抗蝕劑溶液是一種具有光催化劑、敏化劑和穩定劑的光學活性乳劑。光催化劑提高光靈敏度,增加固體含量,而感光劑放大光催化劑的靈敏度。穩定劑延長保質期,提高抗蝕劑質量。機器有相對較寬的曝光窗口,允許曝光時間高達每平方英尺1.5分鐘。這使得光刻成像具有很高的速度和質量,這對於廣泛的印刷應用是必不可少的。此外,刀具的動態靈敏度允許精確表示各種顏色。成像過程依靠每種溶液和乳液的獨特特性來提供一致的結果。通過將顯影劑和粘合劑結合使用,使光致抗蝕劑層更穩定均勻。這就阻止了模糊圖像的發展,這可能會導致不希望的模式。此外,感光劑和光催化劑之間的化學反應導致所需圖樣的精確表示。資產的堿性特性也有助於減少幹燥過程所需的時間和溫度。幹燥過程的速度和溫度對於避免材料出現條紋或變形至關重要。此外,無毒水性溶液消除了對若幹危險化學品的需求,並提供了一個更加安全的工作環境。總體而言,DNS 80B模型是光刻應用的可靠、安全的選擇.其廣泛的曝光窗口和動態靈敏度提供了高質量的圖像表示,而其水基乳液提供了一個快速和高效的打印過程。
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