二手 DNS / DAINIPPON 80B #9257028 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9257028
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
System, 8" 1995 vintage.
DNS/DAINIPPON 80B是專門設計用於印刷/半導體工業的光刻設備。該系統是一個基於溶劑的單元,也是光刻領域的先進材料開發,可用於負極和正極光致抗蝕劑。DNS 80B的光致抗蝕劑由聚苯乙烯樹脂和單體兩種組分組成。聚苯乙烯樹脂源自100%的苯乙烯單體,而單體由含有鹵素材料的改性苯乙烯組成。使用這兩個組件,可以定制材料的機械和化學性能,以滿足特定的應用要求。光致抗蝕劑組合的組分在曝光時執行兩項重要任務。首先,聚苯乙烯樹脂吸收暴露(光)的能量,建立鏈條的交聯。這會導致光刻膠硬化,並產生印在基板上所需的圖案。光刻膠中的單體負責不同的性質。當暴露在紫外線下時,會發生聚合反應,形成對破壞性酸、堿和其他溶劑具有高度抗性的復雜聚合物網絡。這保證了光致抗蝕劑在暴露於半導體制造過程中使用的基本蝕刻和清潔過程時是穩定的。DAINIPPON 80B機的獨特之處不僅在於其雙組分聚合物結構,而且在於其成膜能力。它高度符合任何類型的基材,如銅、鎢和鈀。該工具可形成具有柔韌性和彈性的薄膜層,與基板具有良好的附著力。此外,這種資產對普通的光敏液體和溶劑具有很高的抵抗力。此外,80B也是一種無害環境的光致抗蝕劑。其設計符合日本環境省提出的嚴格環境安全要求,揮發性有機汙染物排放量低於30ppm。這一模式符合所有實驗室要求,並得到歐盟對某些工藝的批準。總體而言,DNS/DAINIPPON 80B光刻設備是光刻領域的先進材料開發,提供卓越的光學性能、優異的薄膜附著力和光學性能,以及環保的特點。該系統為要求苛刻的半導體應用提供了出色的光敏性能,並且可以在各種基板上產生廣泛的圖像。
還沒有評論