二手 DNS / DAINIPPON 80BW #182508 待售

DNS/DAINIPPON 80BW是為7.5K和10K半導體制造工藝設計的高分辨率正光敏設備。該系統具有一種專有的先進的含聚合物正抗蝕劑，經過優化，可產生優越的臨界尺寸（CD）控制和低粗糙度表面。它經過專門設計,可確保以最具挑戰性的分辨率陣列的最高性能。該單元由三個組成部分組成：抗蝕劑材料、光敏塗層溶液和顯影液。抗蝕劑是先進聚合物的專有配方，具有較高的分辨率、線條粗糙度和靈敏度。光致抗蝕劑塗層溶液被設計為塗覆均勻的抗蝕劑材料。這種光致抗蝕劑塗層溶液被配制成在目標基板上的均勻層中施加物理厚的抗蝕劑，允許在圖樣制作過程中獲得盡可能高的分辨率。開發中的溶液被配制成快速和完全去除所需區域的光敏材料，同時最大限度地減少對底層基板的損害。開發解決方案經過優化，在開發過程完成時提供了優越的模式分辨率、較短的周期時間和最小的殘留量。當與最先進的光學曝光系統、準確和可重復的工具以及潔凈室過程結合使用時,機器的性能最佳。這些元件共同創造出具有卓越線條邊緣粗糙度、精確可重復尺寸、卓越線條分辨率、縮短開發時間的完整光刻系統。總之，DNS 80BW是為最具挑戰性的光刻工藝而設計的先進的正光刻工具。該資產提供了卓越的臨界尺寸控制、低粗糙度基板表面以及縮短的開發時間。此外，當與最先進的光學曝光系統和潔凈室工藝結合使用時，該模型能夠以最小的殘留量產生更好的模式分辨率。