二手 DNS / DAINIPPON 80BW #9134993 待售

DNS/DAINIPPON 80BW是一種光阻設備，設計用於各種集成電路（IC）制造工藝，包括晶圓制造。該系統基於溶解在烯唑、甲酚和其他化學物質混合物中的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）的化學成分。當暴露於紫外線（UV）輻射下，DNS 80BW發生光聚合反應，在晶圓表面上形成高阻力的聚合物層。該層用作保護性塗層，在進一步的IC制造過程中提供防止有害汙染的保護，如金屬或有機殘留物。使用DAINIPPON 80BW作為光致抗蝕劑裝置的主要優點包括在低能量劑量下的高分辨率、廣泛的曝光時間和敏感性以及較高的整體分辨率。此外，還制定了快速幹燥的80BW，減少了IC制造過程中汙染和降解的風險。DNS/DAINIPPON 80BW中使用的晶片在暴露前必須清潔且無汙染物。晶圓是輻射源中的第一位，在那裏用紫外線輻射照射。根據所需的結果，晶片可能需要多次曝光。在曝光過程中，DNS中的光活性成分80BW發生化學變化，在晶片表面形成電阻層。然後可以使用蝕刻或類似技術進一步處理此層。在整個使用過程中,DAINIPPON 80BW已通過各種IC制造步驟的有效性測試。通常,使用機器生產的集成電路具有高分辨率、良好的表面水平和較低的蝕刻速率。此外,還註意到其相對較短的曝光時間和出色的分辨率。因此，80BW是一種廣泛用於各種IC設計和用途的光刻工具。