二手 DNS / DAINIPPON MST-300A #9026249 待售

DNS/DAINIPPON MST-300A是一種先進的光刻設備,旨在提供微電子應用中的最佳分辨率和分辨率均勻性。該系統非常適合從晶圓步進器到直接成像系統的一系列應用。該裝置采用一種稱為多步薄膜沈積（MSTD）的自動化化學工藝，利用惰性氣體向晶片輸送精確的光刻膠配方，從而能夠正確地開發出所需的圖樣。惰性氣體是一種高純度的光源,可實現高分辨率的成像和均勻性.MSTD過程產生的圖像可重復性為+/-0.5 µm,超過24英寸晶圓。DNS MST-300A還配備了功率增強離子植入器,它使用精確的離子爆炸以受控和精確的方式對光刻膠進行分層,以創建亞微米特性。這臺機器最多可以進行四次離子植入。該機器還配備了先進的曝光工具，配備25毫米汞弧燈，設計用於提供高分辨率圖像。DAINIPPON MST-300A有一個內置的光掩模室，其中可以存儲多個掩模，以便在曝光之間快速切換，資產最多可以同時執行四次曝光。MST-300A還具有優化的蝕刻和清潔模塊，以確保高效和有效的光敏去除。該模塊配有自動晶圓清洗模塊，可有效清除汙垢和殘渣。最後,該型號采用了高強度的背面清洗選項。這樣可以在處理之前徹底清潔晶片的背面。這樣可以確保最終達到最高質量的效果。DNS/DAINIPPON MST-300A是一種最先進的光刻設備，能夠在一系列微電子應用中產生高質量的圖像和溶液。它是組織在微電子操作中註重高精度成像的理想系統。