二手 DNS / DAINIPPON RF3 #9213798 待售

DNS/DAINIPPON RF3是一種基於硝化纖維素、鉻和高度敏感光敏材料的精密光刻設備。這種材料，簡稱DNS RF3，是日本DNS公司開發的一種專有樹脂混合物。一旦暴露在光線下，DAINIPPON RF3在基板上形成硬化層，然後可用於控制納米級器件的分辨率、線寬和長寬比。RF3系統為在復雜結構上創建納米級光刻圖樣提供了一種經濟高效且精確的方法。該單元由DNS/DAINIPPON RF3樹脂、鉻和沈積在基板上的光敏材料組成。光敏材料吸收曝光光束的光能，與DNS RF3的反應產生一層硬化材料。這層硬化可以蝕刻在特定的圖樣，以提供所需的設計。該機還需要使用微型接觸式打印機和精密面罩對準器。接觸式打印機用於為光刻膠制備基材,方法是將鉻和DAINIPPON RF3材料以正確的布置和正確的區域放置。然後使用掩模對齊器定位包含所需圖樣的光掩模以暴露於光束中。基板暴露後，開發出光致抗蝕劑，這是去除硬化材料區域以形成圖樣的過程。RF3工具的優點是提供精密光刻，與傳統的光學光刻系統相比，成本只有一小部分。雖然不限於生產納米級器件，但在這一領域，這一資產已被證明提供了出色的成果。該型號操作也相對簡單，可用於微機械系統、印刷電子、顯示器和成像光學等廣泛應用。最後，DNS/DAINIPPON RF3設備為在復雜結構上創建納米級光刻圖樣提供了一種經濟高效的精確方法。過程相對簡單，系統的優點是可以精確地用於廣泛的應用。