二手 DNS / DAINIPPON RF3 #9360860 待售

DNS / DAINIPPON RF3
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
RF3
ID: 9360860
Coater / Developer system 193 nm.
DNS/DAINIPPON RF3是一種最先進的光刻設備,由光掩模技術領域的領導者DNS Inc.開發制造。該系統經過精心設計,能夠在分辨率、線寬和對比度方面取得最佳效果,同時在高生產率和低環境影響方面提供卓越的性能。這種光致抗蝕劑單元由四個主要成分組成,即:1.光敏塗層:光敏塗層是機器中的第一步,用於用光敏塗層均勻塗覆光敏塗層基板。塗層具有可變的磁盤速度、真空卡盤和可選的快速更換功能,使用戶能夠快速輕松地在不同的光刻膠配方之間切換。2.曝光模塊:曝光模塊是該工具的第二步,用於用光曝光光掩模基板。它具有高能激光器,能夠一次曝光光掩模的單個部分,並具有可變光束大小和自動聚焦功能,以提高分辨率。3.曝光後烘烤/燒掉模塊:此模塊是資產的第三步,具有用於曝光後烘烤的可滲透燈。如果需要,此模塊還可用於燒掉光刻膠。4.開發模塊:開發模組是模型中的最後一步,用於從光掩模基板中去除暴露的光刻膠。它具有流通性設計,可以在整個光掩模基板上實現一致甚至均勻的開發。總體而言,DNS RF3光刻膠設備經過精心設計,可提供卓越的精度、分辨率和對比度,同時還可在高生產規模上提供更高的性能。對於那些希望輕松地、精確地生產平版照相掩模的人來說,它是一個有效和經濟高效的解決方案。
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