二手 DNS / DAINIPPON RF3S #9389840 待售

DNS/DAINIPPON RF3S是一種先進的光刻設備,旨在為大面積的制造應用提供卓越的薄膜厚度控制和陣列分辨率。這一系統是專門為滿足半導體晶圓制造、LED顯示器、器件封裝等應用的復雜要求而設計的。DNS RF3S利用專有的高精度噴嘴單元,結合先進的表面處理,以高重復性和均勻性的方式在樣品表面上均勻分布光致抗蝕劑。這允許納米級均勻度為7nm或更小的極薄膜塗層。該機器還能夠以非常精確的量供應光致抗蝕劑，濃度高達百萬分之6。DAINIPPON RF3S利用一個專利的「廣角噴嘴」來確保分布良好的光敏氣流。這樣可以在平坦的表面上形成均勻的塗層,並最大程度地減少不均勻的塗層或緊密間隔的圖樣之間的橋接。沈積的光致抗蝕劑的質量也通過獨特的「非揮發性控制工具」來維持，該工具可以防止光致抗蝕劑薄膜的降解，同時也可以防止光致抗蝕劑的積累或浪費。RF3S還利用獨特的薄膜厚度控制資產，自動調整沈積和流動速率，以實現厚度精確控制的均勻薄膜。該模型采用閉環反饋控制，保證了光刻沈積物的精確濃度和厚度，為降低地下基質中的寄生吸收提供了一種機制。鑒於先進包裝和晶圓級工藝需要先進的光刻薄膜沈積系統，DNS/DAINIPPON RF3S為大面積制造應用提供了絕佳的解決方案。它的高級功能對於實現所需的陣列分辨率和一致性至關重要。結合Nanotech的BRUCE系統等自動化後端處理設備,DNS RF3S設備能夠提供一些最先進的光刻技術。