二手 DNS / DAINIPPON RF3S #9392420 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
RF3S
ID: 9392420
晶圓大小: 12"
(5) Coater / (5) Developer system, 12" Does not include Hard Disk Drive (HDD).
DNS/DAINIPPON RF3S是一種自旋光致抗蝕劑工藝,在細螺距區域具有極好的分辨率,並且具有最小的縱橫比損耗。它利用負色調抗蝕劑,采用類似自旋塗層的工藝應用於基板。該設備非常適合表面安裝裝置(SMD)和精細間距裝置的應用,因為使用自旋處理具有較高的循環壽命和較高的透明度。DNS RF3S系統的光致抗蝕劑是一種苯基丙烯酸共聚物材料,通過自旋加工應用於基材。這提供了均勻的厚度和出色的分辨率。塗層中含有光敏材料,暴露於紫外線以激活曝光過程。然後開發抗蝕劑,它定義設備的陣列特征。該設備還具有高對比度顯影劑,可提供出色的圖像分辨率和高工程緯度。本文針對深腔型式設計,保證了窄線寬的邊緣定義.它也是防水的,可以用來覆蓋大面積的smaztmask襯裏和島嶼。DAINIPPON RF3S還設計為與無Pb進程兼容。抗蝕劑具有極好的銅附著力,滿足無鉛和鉛板組裝工藝的要求。它也是低除氣,具有低吸水性,以提高焊性。該機器提供出色的圖像分辨率和寬廣的處理窗口。它還具有較長的保質期和卓越的熱穩定性。此外,抗蝕劑是一種通用工具,高度適用於所有類型的光刻板系統。總體而言,RF3S自旋光致抗蝕劑資產是SMD和精細螺距器件應用的絕佳解決方案。它提供出色的分辨率,並且與含鉛和無排行榜板裝配過程高度兼容。該模型還可以與所有類型的光刻板系統一起使用,並提供寬廣的工藝窗口和長保質期。
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