二手 DNS / DAINIPPON RF3S #9392802 待售

DNS/DAINIPPON RF3S是由光刻工具、機械和用品的知名供應商DNS SCREEN制造的光刻開發設備。它非常適合用於生產微電路、MEMS（微機電系統）和其他微米級結構。DNS RF3S光致抗蝕劑顯影系統由三個部分組成：一個抗蝕劑材料、一個顯影單元和一個剝影單元。抗蝕劑材料使用自旋塗層或化學氣相沈積技術應用於基板，然後暴露於光。根據所需的圖案,光線直接從遮罩或光源產生。光線照射會導致抗蝕劑材料的結構發生變化，從而在基板上形成圖案化的抗蝕劑薄膜。開發的單元然後加工抗蝕劑材料以去除暴露的部分，剩余的圖樣抗蝕劑可以有選擇地轉移到基板上。然後剝離裝置將不需要的抗蝕劑從基板上移出，只剩下有圖樣的抗蝕劑留在基板上。DAINIPPON RF3S光致抗蝕劑顯影裝置的優點是多方面的。它提供了出色的模式定義和分辨率，其線/空間分辨率分別為0.2 μ m（0.008mil）和0.1 μ m（0.004mil）。它還可以實現高度的平面化,這對於現代設備生產至關重要。此外,這臺機器具有極好的易用性,而且價格合理。此外，它還可以無縫地集成到j-OTF-兼容光刻工具中。最後，使用內置的QC監視器可以方便地檢查打印的抗蝕劑圖樣。該工具允許用戶同時檢查缺陷分辨率和圖像質量。此外,它還通過自動對齊分辨率為0.2 μ m （0.008mil）的模式參考來實現高精度對齊。所有這些特性使其成為微電子器件制造的絕佳選擇。