二手 DNS / DAINIPPON SC-60BW-AV #9235498 待售

DNS / DAINIPPON SC-60BW-AV
ID: 9235498
晶圓大小: 5"
優質的: 2011
Coater system, 5" 2011 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-60BW-AV光刻設備是一種在薄基板(如IC、光電子)和微機電(MEM)裝置上蝕刻微小特征的高效系統。該單元采用雙抗性工藝,其中抗性材料在化學上暴露於不同波長的光。這一過程改善了基材與光刻膠之間的粘附,從而改善了蝕刻特性。DNS SC-60BW-AV機器的工作原理是將光刻膠暴露在一束紫外線激光下。這會引起化學反應,有選擇地蝕刻底物表面。激光的波長是可調的,以達到不同的蝕刻深度。該工具能夠創建非常小的特征,如線條或點,寬度降低到幾微米。為了確保精密蝕刻,資產的電阻材料必須適當調諧到所需的波長。光學反饋和精密光束控制相結合,使模型能夠產生精確調諧的高精度抵抗模式。該設備還具有自動校準工藝,可根據所使用的材料快速調整蝕刻輪廓。系統還包含一個圖像顯示單元,該單元實時顯示蝕刻結果。這使工程師能夠快速評估蝕刻特征的質量,並進行必要的調整以獲得所需的結果。為確保最大效率,DAINIPPON SC-60BW-AV光刻裝置配備了先進的冷卻機,有助於減少蝕刻過程中產生的熱量。這有助於確保精密蝕刻,同時防止損壞基板.總體而言,SC-60BW-AV光刻工具是一種有效的工具,可以在薄薄的基板上蝕刻細微的特征。通過使用雙抗蝕劑工藝和自動校準,工程師可以輕松快速創建精確的蝕刻模式。資產可靠、高效、美觀,是薄基材蝕刻工藝的絕佳選擇。
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