二手 DNS / DAINIPPON SC-80A-AVFG #9148240 待售

DNS Screen DNS/DAINIPPON SC-80A-AVFG光刻設備是一種先進的半導體器件光刻系統，設計用於半導體器件的高分辨率制造。其核心特點是其多通道曝光技術，允許在難以復制的結構如finFET和內存陣列中實現高均勻性和塗層可重復性。DNS SC-80A-AVFG單元使用多種聚焦在基板上的透鏡,包括可變對焦變焦、f-theta和非球面透鏡,這些透鏡可產生多種陣列幾何形狀,以實現具有挑戰性的設備幾何形狀。此外,一個獨特的面罩傳輸測量機有助於確保準確放置暴露的圖案.DAINIPPON SC-80A-AVFG工具還包括1.3倍的高分辨率光掩碼掃描儀，它允許掩模到掩模的對準精度高達一弧秒，同時考慮到由於掩模缺陷可能造成的圖像變形。這允許在掩模之間進行精確的圖樣傳輸,從而在連續的光刻步驟中有效地使用掩模。此外，它的多渠道曝光能力允許精確控制未蝕刻圖樣的分辨率，具有高度的圖樣可重復性。其創新的打印優化算法確保了標線上的吞吐量最大化，同時確保了相同尺寸的圖樣之間的預定義的最佳均勻性，這是傳統光刻系統的主要限制。SC-80A-AVFG還可以顯示具有挑戰性的模式,以創建獨特而復雜的3D-structures,在一次曝光中,其最小特征大小為40 nm,最大特征大小為1000 um。其多波長、高穩定性的照明資產保證了模型曝光模式的準確性和可重復性，其光譜濾波功能允許UV波長從203 nm到300 nm。最後，其專門的軟件套件結合了診斷和過程控制，以準確地檢查和分析觀測數據。它具有全自動操作以及實時查看結果的交互模式。這有助於開發最先進的產品以有效的方式進行優化，並使該設備成為現代半導體器件具有挑戰性的光刻工藝的理想解決方案。