二手 DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235507 待售

DNS/DAINIPPON SC-80BW-AV光刻設備是一種全自動、高速晶片處理系統。該單元由四個主要組件組成：晶圓傳輸、旋轉塗層單元、曝光單元和開發單元。晶圓傳輸將基板從晶圓裝載機移動到旋轉塗層單元。旋轉塗層裝置是一種高精度的裝置，設計用於在基板上均勻分布抗蝕劑材料。曝光單元包含一個紫外線光源，用於有選擇地曝光抗蝕劑塗層晶片的圖樣區域。它還配備了一個旋轉的舞臺，以方便這些花紋區域的曝光。開發單元的設計目的是去除抗蝕劑的暴露和未暴露部分。DNS SC-80BW-AV Photoresist Machine是一種高度精確的工具,旨在減少缺陷並提高吞吐量。該資產配備了直接圖像感測和調整模型（DISA），以確保基板圖樣區域的高精度曝光。直接圖像感測和調節設備監控晶圓的運動，然後相應調整紫外線光源的曝光。該系統有助於減少與抗蝕劑塗層不均勻相關的缺陷,從而提高吞吐量和產品質量。該單元還配備了自動抗蝕劑更換機（ARRS），以確保抗蝕劑材料的最高性能。ARRS持續監控基板的暴露、溫度和濕度。然後自動調整抗蝕劑的濃度和成分，以保證性能的最高程度。此外，該工具還配備了動態熱成像資產（DTI）。該模型旨在檢測和測量塗層基板上的熱活動，然後相應地調整自旋塗層單元的溫度。這有助於降低基板加熱或冷卻不均勻造成缺陷形成的風險。總體而言,DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment是一個功能強大的自動化晶片處理系統,旨在通過最大吞吐量確保卓越的產品質量。它結合了直接圖像感應和調節、自動抗蝕劑置換、動態熱成像系統，有助於減少缺陷，優化吞吐量，最大限度地提高抗蝕劑的有效性。