二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #293750908 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是為半導體晶圓生產的光刻工藝而設計的先進光刻設備。它針對多種光致抗蝕劑應用和材料進行了優化，包括負極和正極抗蝕劑、DUV和248nm及深紫外工藝，以及納米壓印光致抗蝕劑材料。其先進的光學系統確保了卓越的成像精度和性能，使其成為一系列光刻應用的理想選擇。DNS SCW-60A-AV配備了一個獲得專利的反射分級裝置，具有極低的環境靈敏度，並允許高精度的光強度控制。這確保了高質量的圖樣轉移，並為深紫外光刻工藝提供了良好的效果。本機還采用了穩定的高強度UV-LED光源等先進的紫外線源技術，有助於最小化曝光時間，確保抗蝕劑不會過度曝光。這樣可以減少曝光時間,從而增加吞吐量並最大程度地減少錯誤。DAINIPPON SCW 60A AV還裝有確保可靠運行的功能。其空氣軸承級工具提供了超低熱漂移的精確、線性級運動。資產先進的減振模型最大程度地減少了可能幹擾暴露過程的外部振動並降低了精度。它有一個室內空氣清潔劑，在加工過程中去除抗蝕劑的有機汙染物。安全方面，設備符合SEMI S2、S8、S13等三項安全標準。它的機械快門允許用戶固定光路，並防止雜光影響曝光過程。此外,還集成了後置成像鏡頭,可根據目標進行調整以進行對準。總體而言，DNS/DAINIPPON SCW 60A AV是一個先進的光刻系統，允許在光刻過程中的精度和準確性。它配備了許多功能和技術,以確保可靠、高效的流程以及最佳效果。