二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9018261 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是一種用於半導體制造工藝的最先進的光致抗蝕劑設備。它能夠在直徑不超過200毫米、厚度不超過30 μ米的基板上產生N型或P型圖案。該系統集成了先進的設計工具和仿真功能，使其成為數字化制造的一個有吸引力的解決方案。該單元由一個四級蝕刻過程組成，從光刻沈積開始。這是通過使用兩個獨立的源，基板載流子表和分配器來實現的。底物載體表將光致抗蝕劑均勻沈積在底物上。對分配器進行調整，以沈積特定數量的光致抗蝕劑，並可用於改變層的厚度。一旦施加了光致抗蝕劑，它就會通過掩模受到輻射。輻射可以針對基板的特定部分進行定制，並提供定制模式。在成像階段，使用兩個相機來定位和洞察抗蝕層的特征。有光學顯微鏡和激光工具，便於成像。過程的第三階段是發展階段。在此，開發了抗蝕層，並揭示了成像模式。暴露的區域被進一步蝕刻，底物被沖洗。這種沖洗可以去除表面殘留的化學物質，而不會破壞圖案化的層。第四階段，沈積保形層完成模式。一旦保形層到位，第二次沖洗底物，以確保所有化學物質都被去除。成功完成這四個步驟後，晶圓可用於摻雜或金屬化等進一步的過程。總體而言，DNS SCW-60A-AV是一種先進的光刻機，為在基板上創建半導體圖樣提供可靠和快速的工藝。它旨在提供出色的成像分辨率、高沈積精度和低缺陷可能性。該工具可處理直徑達200毫米、厚度達30 μ米的基板，是先進半導體制造的完美解決方案。