二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9226210 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是一種先進的、功能齊全的光刻成像設備,專為高效處理微電子設備而設計。適用於廣泛的應用，包括蒙版、光刻蝕刻、鍍層。該系統具有自動曝光和開發單元（AED）,並帶有各種用於各種應用的照片掩模光學元件。該機配備了真空抵抗成像窗口，提供了高度穩定的成像環境和高圖像分辨率。這種成像工具的曝光範圍很廣，允許精確控制曝光劑量。對於掩蔽，該資產允許同時曝光多達13個眼鏡。它還具有一個直接驅動的曝光模型，一個高效的反射鏡和激光精確曝光控制。直接驅動設備還為諸如光掩模等基板光照圖案應用提供精確的曝光控制。系統還可以配置蝕刻模塊。蝕刻模塊使用先進的兩級工藝將光刻膠蝕刻到基板上。第一階段蝕刻光致抗蝕劑材料，第二階段從基板上提起抗蝕劑。此蝕刻模塊提供了高畫質,同時對蝕刻速率進行了出色的控制.此外，該機還配備了先進的光阻剝離機。該刀具使用高頻抗蝕劑剝離機從基板上剝離光抗蝕劑。這種資產對剝離率有很高的控制，對基材的損壞風險也很低。所有這些特性使DNS SCW-60A-AV模型成為微電子器件成像、蝕刻和電鍍的理想解決方案。其先進的特性，加上其全面的圖像控制，使其成為研究和工業應用的理想工具。