二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248933 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是用於制造集成電路和微電子的最先進的光刻設備。該系統基於直接寫入電子束光刻工具。它能夠使用電子束提供的亞微米分辨率精確寫入光刻塗層晶片上。該單元還包括用於設計、模式布局和控制的軟件。DNS SCW-60A-AV的電子束允許連續寫入和批處理模式操作。在連續書寫中，電子束被用來以恒定的速度直接暴露光抗蝕劑，以產生連續的網狀圖樣。在分批模式下，可以創建一組獨特的圖樣，電子束偏轉在晶圓上生成圖樣。該機配備了由物鏡、電子源和專用電光電路組成的集成光學工具。這種光學資產用於聚焦電子束，使一系列不同的分辨率得以使用。光學模型自動調整電子束，在暴露區域上保持恒定焦點。DAINIPPON SCW 60A AV能夠寫入最小線寬小於0.8微米、最小特征大小為0.4微米的模式。此外，電子束可以精確編程，產生具有指定間距的線型。這種能力確保光刻膠暴露於精確的電磁能量水平，從而產生高保真度的圖樣。DNS SC-W60A-AV還包括一個控制設備,用於在生產中優化性能。其軟件包括模式大小驗證和自動調平等功能。這樣可以確保產生準確、可重復的模式。該系統還包括一些安全功能。其氣體外殼配有壓力傳感器、電磁閥和緊急壓力安全閥，確保與使用電子束光刻有關的潛在危險保持在最低限度。總體而言，SC-W60A-AV是一個強大、可靠和安全的光阻裝置，用於創建復雜的集成電路和微電子設計。其直接寫入電子束光刻能力，集成光學機器和控制功能，確保了精確、準確、可重復和安全的模式能夠以最大的效率產生。