二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9251325 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV光刻設備是一種先進的光刻系統，用於對微電子器件進行高精度和高速度的制圖。其能力包括先進的薄膜和計量技術、全面的材料處理系統、高精度的光學系統、光刻膠處理。該單元非常適合制造MEMS（微機電系統）和IC（集成電路）生產中的超細線和套圈，以及其他工藝。該機配備了雙波長共振激發激光器、維持偏振的光纖波紋管和全場投影透鏡。即使對於非常復雜的模式,這也允許精確、可重復的曝光。該工具還配備了多軸級，可為廣泛的微觀光學成像應用提供精確、可重復的運動。該階段還包括一個內置的索引功能，以確保準確和可重復的定位在一個大範圍的模式。為確保抗蝕劑輪廓一致，資產與帶真空疏散室的半自動晶片處理模型集成。在晶片曝光步驟中，設備操縱晶片以獲得最佳的抗蝕性輪廓，這有助於提高產量。該系統還可用於陣列磁域，具有包括MEMS、IC、硬盤驅動器、平板顯示器生產在內的廣泛應用。為此，該單元與光學色散偏振儀集成，同時測量二維磁場強度。它還通過主動補償與成像過程相關的熱漂移來提供溫度穩定控制。此外，該機還能夠同時進行成像和計量操作，使用戶能夠將制造的設備質量與設計模型進行對比。這有助於提高最終產品的準確性和可靠性。總體而言,DNS SCW-60A-AV光刻工具是一種先進的光刻資產,功能廣泛。其能力包括先進的薄膜和計量技術、全面的材料處理系統、高精度的光學系統、光刻膠處理。在MEMS和IC的生產過程中，它具有很強的磁場圖樣能力和高精度和高速度，是制造超細線圈的理想選擇。