二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AVG #293821747 待售

ID: 293821747
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
SOG Coater, 6" 1995 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVG是由DNS Screen MFG Co.Ltd. of Japan.它主要用於半導體工業中的薄膜加工。該系統配備獨特的蒸氣噴霧噴嘴、先進的高分辨率光學器件和先進的控制單元。蒸氣噴霧噴嘴用於在基板表面均勻分布光致抗蝕劑。該機具有可調的噴嘴壓力,以確保均勻的覆蓋範圍和最小的光致抗蝕劑浪費。它還有一個快速的溫度控制工具來維持一致的工藝溫度,允許一致的光刻膠質量。先進的高分辨率光學設備提供了對光刻塗層的卓越控制。它使用兩個1/2英寸像素分辨率的圖像傳感器,最大分辨率高達12.5mm。這些光學器件被配置為對焦點特性和視場進行高精度調整。此外,該型號還有一個精密透鏡,能夠給出亞微米分辨率。先進的控制設備由PLC控制器和用戶友好的軟件界面組成。PLC控制器對光刻膠的處理提供簡單而強健的控制。軟件界面允許用戶對過程進行編程和監控,提供對溫度、壓力和時間等參數的實時控制。此外,該系統還具有準確的功能,如數據記錄、趨勢分析和警報。總體而言,DNS SC-W60A-AVG是一種最先進的光刻裝置,其設計目的是提供卓越的覆蓋和卓越的控制。該機具有可調節的蒸汽噴霧噴嘴、先進的高分辨率光學器件以及提供高精度和精確度的尖端控制工具。該資產非常適合半導體工業中的薄膜加工。
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