二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A #293768580 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A是一種設計用於薄膜金屬化工藝的光敏處理設備。該系統是用於去除光刻膠並將其沈積到基板表面的設備的集成平臺，非常適合用於制造高精度電子元件。該裝置包括三個主要組成部分：一個濕式加工站、一個光致抗蝕劑去除機和一個氣相沈積工具。濕加工站包括一套用於生產高質量光刻膠的精密罐。這些儲罐非常精確，可以形成亞微米抗蝕劑圖樣，可以用來在基板上形成超細的特征。這些儲罐允許自動化的音量控制、壓力控制和化學控制，確保最優化的加工條件。光致抗蝕劑去除資產的設計是從基板表面精確去除光致蝕劑。它利用強大的氮等離子體使光致抗蝕劑汽化，留下幹凈的底物表面。該模型能夠從尺寸達55mm的基板上去除光致抗蝕劑，精確度能夠達到10nm以下的深度分辨率。氣相沈積設備被用作光致抗蝕劑應用過程的一部分。它采用高溫氣相沈積工藝塗抹光致抗蝕劑。這種沈積過程非常精確，能夠將光致抗蝕劑沈積到0.1um精度以內。整個系統設計為在嚴格的質量控制要求下運行。該裝置能夠進行廣泛的測試和檢查，包括：厚度精度測量、表面清潔度測量、線寬測量和顯微鏡測量。這些測試確保以精確可靠的方式應用所需的光致抗蝕劑。總體而言，DNS SC-W60A是一種先進的光刻加工機器，能夠產生超細、精密的基板特性。該工具專為生產高精度電子元件而設計,旨在提供一致、可靠和可重復的結果。