二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A #9115318 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A Photoresist Equipment是開發、曝光和蝕刻用於制造半導體的薄薄光刻層的完整解決方案。DNS SC-W60A結合了高精度的曝光光束對準、可調節的重叠曝光面罩，加上高精度的晶圓定位和真空保持，提供卓越的光敏處理效果。系統架構以三軸高精度定位單元為基礎，由底座、傾斜級和腕關節組成，提供每個晶片在掩模工作站內的精確放置。這臺機器的設計確保了掩模層的精確重叠，並且可以調整以適應任何尺寸的晶片。此外,為了確保最大程度的均勻性,DAINIPPON SCW-60A利用陣列化曝光陣列,利用上層和下層掃描儀創建高質量的圖像。另外，這個工具是專門為保證每個晶片表面完全沒有顆粒而設計的。為了盡可能優化光致抗蝕劑層，DNS SCW-60A利用高壓輸送資產，利用機械快門在不同的水平吹壓。此控制過程有助於確保光刻膠圖樣均勻地粘附在基板上。此外，還采用了自動聚焦模型，以使顆粒失活並監測整個過程，而耐腐蝕的不銹鋼腔室有助於確保連續使用過程中的準確性。在蝕刻過程中，DNS/DAINIPPON SCW-60A使用射頻發生器和化學源提供高性能的反應性離子蝕刻。射頻發生器被設計成產生一個高頻波，然後被送至晶片產生一個反應，其中腔室中的離子被吸引到晶片上，然後在光致抗蝕劑中產生圖樣。化學來源確保蝕刻過程快速、精確。為了確保準確性和高質量的結果，SCW-60A設計用於監測每個過程。該設備有多個傳感器和設備，跟蹤顆粒沈積、溫度、壓力、光刻膠層和蝕刻濃度，並在液晶顯示器上自動顯示結果。此外，基於算法的匹配系統確保每個晶片都精確地遵循預定的模式。總體而言，DAINIPPON SC-W60A光刻裝置是半導體制造商的絕佳選擇，他們在光刻和蝕刻過程中需要精確、一致的高質量結果。通過利用機器的高精度組件、精確的監控系統和自動化流程,用戶可以放心,因為他們使用的是可靠且先進的光刻膠解決方案。