二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A #9142689 待售

DNS / DAINIPPON SC-W60A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SC-W60A
ID: 9142689
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
Coater / Developer, 6" Process: Photolitho 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W60A是一種由光刻劑、顯影劑和水去除劑組成的液體光刻設備。它用於半導體工業,主要用於制造集成電路(IC)中的各種組件的陣列。光刻膠系統利用氫氧化鉀(KOH)蝕刻溶液蝕刻光刻膠材料的暴露區域。此蝕刻工藝在基板上形成所需的圖樣,然後進行濕洗和幹燥基板。該單元有兩個主要成分,光刻膠溶液和顯影劑。光敏溶液是光敏化合物和與紫外線或電子束輻射反應的粘合劑的混合物。它提供了出色的模式保真度、線寬控制和分辨率。顯影劑用於在制圖過程後耗散暴露的光致抗蝕劑。這種化學溶液通常由有機溶劑和硫酸、氫氟酸等有機酸組成。在設計光刻膠的過程中,底物浸沒在光刻膠溶液中,通常為8-15秒。然後將基材暴露在紫外線、電子束或激光下一段時間,以固化光致抗蝕劑。光致抗蝕劑的暴露區域溶解在顯影劑中,在基板表面留下所需的圖案。然後用清水沖洗基材,除去殘留的光致抗蝕劑。基材隨後幹燥,準備下一個加工步驟。DNS SC-W60A光刻機為高性能和高精度設計.它提供了高分辨率的模式保真度和精湛的線寬控制和出色的濕式耐化學性。光刻工具可用於多種應用,如IC光刻膠、單層和多層圖樣、超細圖樣和高溫回流焊接。光致抗蝕劑在各種工藝條件下具有顯著的抗性,非常適合先進的封裝和光電子技術。總體而言,DAINIPPON SCW-60A光刻膠模型提供了一種簡單可靠的微電子器件陣列設計方法。該設備具有多種優點,包括對基材的出色附著力、卓越的分辨率和出色的線寬控制。該系統在IC制造商中仍然是一個受歡迎的選擇,因為它在成功實施和高效運營方面的良好記錄。
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