二手 DNS / DAINIPPON SC-W629-BVQ #293748585 待售

DNS/DAINIPPON SC-W629-BVQ是專門為半導體光刻應用設計的兩部分液體光刻系統。光致抗蝕劑是一種正音化學復合材料，由水性感光層和非感光保護層組成，在半導體器件制造過程中，在各種基材和工藝條件下提供出色的分辨率、高靈敏度圖樣傳遞和可靠的性能。水性感光層由供體聚合物、引發劑、粘合劑和敏化劑組成。供體聚合物是一種聚乙烯胺，含有至少4%的甲基丙烯酸羥乙酯（HEMA）和將HEMA與聚乙烯基氨基增塑劑結合的引發劑-粘合劑。水性感光層的感光器以Co （NH3） 6Cl3為基礎，在廣泛的光譜範圍內提供出色的圖樣傳遞。這種敏化劑對365納米（nm）和248nm波長的紫外線照射特別有效，建議用於0.30微米和較小的特征尺寸。非感光保護層是一種聚合物基二次塗層，有助於保護底層的光致抗蝕層。該層在光刻應用中提供了活性感光層與工藝環境之間的有效化學屏障。它對大多數在加工過程中使用的溶劑和其他化學物質具有抗性，並附著在下面的光敏層上而不分層。DNS SC-W629-BVQ光刻膠系統設計用於光刻,適用於25至40°C的標準加工條件。這種光刻膠具有出色的分辨率、圖樣傳遞、蝕刻電阻率、與堿性蝕刻劑的兼容性以及高光速。這種光致抗蝕劑耐溶劑，紫外線穩定，曝光後烘烤穩定，非常適合半導體器件制造中的多個工藝步驟。總體而言，DAINIPPON SC-W629-BVQ光刻膠系統是半導體器件制造的絕佳選擇，因為它可以生產高質量、高分辨率的細線圖案。它提供可靠的性能、高分辨率和廣泛的過程兼容性,使其成為電子元件形成過程中的寶貴工具。