二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9227384 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AG光刻設備是一種用於半導體制造和其他類型微電子制造的光刻系統。這個單元是一個可編程的，低速接觸式激光掃描儀與衍射光柵光學。它具有80毫米x 80毫米的掃描面積，能夠將微米範圍內的矩形和方形光刻物圖案暴露在亞微米範圍內。本機常用於矽片等工程基材上。DNS SCW-80A-AG工具利用接觸式激光掃描頭，該頭使用衍射光柵作為掃描光學的一部分。衍射光柵用於將激光束分解成多個衍射光束，然後將它們引導到晶圓表面上。當激光器的輸出被改變為形成多個強度相等的「像素」或小平行四邊形時，會形成一個調制光束。然後利用這種調制光束在光刻塗層晶片上曝光所需的圖案。DNS系統的設計可實現精細的模式定義,具有準確和可重復的模式,在批處理過程中高晶圓計數的高吞吐量速度,以及出色的分辨率。這項資產能夠將亞微米上的圖樣暴露於10 µm或更小的高密度均勻特征尺寸。DAINIPPON SC W80A AG模型可用於打印各種應用,如DRAM、DRAM型存儲器和大規模集成（LSI）電路模式。重要的是要註意，這種設備的分辨率能力取決於所使用的照片抵抗材料的特性、暴露的設備圖樣的精密程度以及掃描儀的光學分辨率能力。該系統與MOD-X、Vision Plus和Autoline晶圓感知系統以及其他流行的CAD和光掩碼系統兼容。該單元還具有用戶友好選項,如觸摸屏監視器控件和自動對齊算法（AAA）,用於精確對齊偏移調整。DNS SC-W80A-AG機器提供了一種為復雜設備創建高度精確模式的可靠方法。由於其高分辨率的掃描能力、出色的吞吐量和用戶友好的特點，這款工具是生產規模的半導體和微電子器件制造的經濟高效的解決方案。