二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9274812 待售

ID: 9274812
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Coater system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AG是一種提供高分辨率和高精度處理的最先進的光刻膠曝光設備。光致抗蝕劑曝光是制造半導體器件的關鍵一步,需要高度的精度和精確度來保證產品質量。DNS SCW-80A-AG系統旨在滿足這些要求。該機組配備了先進的雙光束曝光頭,可容納兩個曝光光束,最大總能量為1.2千瓦。這提供了極高的分辨率,以確保在光敏膠片上形成一致、準確的圖樣。曝光頭可以傾斜以獲得最佳曝光角度,其定位可以用X軸和Y軸調節,以確保曝光精確在所需的區域。機器也可以自由編程,以微調曝光參數,以獲得更高的精度。此外,DAINIPPON SC W80A AG工具包括可由可編程控制資產控制的掃描儀和曝光表。這樣就可以輕松、快速地執行各種曝光模式。可以移動和旋轉工作臺,以便精確定位設備或基板以獲得最佳曝光。DNS/DAINIPPON SCW-80A-AG模型能夠產生0.2微米的最小線寬。此外,設備還具有內置的機械和電氣安全功能,可防止意外暴露。此外,晶圓清洗和預處理系統可以集成到設備中進行自動化處理。總體而言,DNS SC-W80A-AG是一種先進的、最先進的光刻膠曝光機。它配備了雙曝光光束和能夠精確定位基板的掃描儀和桌子。此外,它還提供高分辨率、高精度處理,最小線寬為0.2微米。該工具還提供各種安全和自動化功能,使其成為那些只需要最好的底物的人的理想選擇。
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