二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV #293617281 待售
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DNS/DAINIPPON SC-W80A-AV是一種全自動光刻設備,其設計目的是通過旋轉塗層將光刻材料精確地施加到基板上。它具有一個帶有旋轉盤的平臺，該平臺將基板旋轉在一個較低的腔室中，以便均勻地分布光敏材料。基材被放入腔室，在那裏它被預先調節，以便準備基材接收光致抗蝕劑。預調理後，光刻膠再加入到腔室中。光致抗蝕劑添加到腔室後，基板以各種速度和/或不同方向旋轉，以擴散光致抗蝕劑並確保均勻分布。該系統允許對這些自旋塗層參數進行精確調整，以微調塗層工藝並提供最佳應用。該單元由基於計算機的用戶友好界面控制，用戶可以輕松配置腔室和基板的設置。此外,該機器還配備了集成的、支持Web的數據記錄器。這使用戶能夠遠程監視和記錄旋轉塗層工藝,以及查看和分析結果,以便進行任何必要的調整。DNS SC-W80A-AV允許廣泛的塗層要求,提供了極大的靈活性和多功能性。該工具可以處理各種尺寸、形狀和材料的基板，直徑可達8英寸。此外，該資產還配備了快速釋放機制，使用戶可以輕松更換基板，同時保持適當的防風屏障和氣密完整性。該模型的設計保證了旋轉塗層工藝的高精度和可重復性。平臺采用觸摸式電容式水平片傳感器檢測基板的存在，使設備能夠精確測量基板高度，並相應調整自旋塗層參數。此外,系統還包括一個內置的視覺檢查單元,允許用戶在制造前檢查光刻膠中的任何缺陷。總體而言,DAINIPPON SCW-80A-AV是一臺非常精確、用戶友好的光刻應用機器,為用戶提供了廣泛的選項,以實現其旋轉塗層過程中所需的結果。憑借其集成的數據記錄工具、精確的調整設置和自動化操作，該資產非常適合精確高效的光刻應用，使其成為研究實驗室、生產設施和其他工業環境的寶貴工具。
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