二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV #293769117 待售
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DNS/DAINIPPON SC-W80A-AV是一種面向精密微電子制造的高性能光刻設備。它是用於廣泛電子、化學和生命科學應用的組件納米加工的理想系統。該裝置利用先進的紫外線光刻技術將光刻材料塗在基板上.它由高能光束發生器、光掩模和晶圓支架組成。光束發生器發出高度聚焦的紫外線能量束，使基板能夠精確曝光。此光束通過通常由鉻制成的光掩模,該光掩模包含需要蝕刻的圖案。光束穿過遮罩到達光敏材料，典型的環氧，光聚合物或聚酰亞胺，這是施加到基板的表面。由於這種高度精確的曝光，光致抗蝕劑材料對光線敏感，使其能夠被蝕刻成所需的圖案。這種蝕刻是通過電化學加工完成的。在此過程中，光致抗蝕劑上刻有酸性溶液，一般為HCl，產生微觀、錯綜復雜的圖案。DNS SC-W80A-AV提供高達0.2微米的出色陣列精度和高達0.5微米的分辨率。這臺機器允許生產超小型元件和裝置，如半導體、集成電路、電氣元件和微機電裝置。該工具還具有模塊化設計,可輕松集成到現有生產線以及自動操作。這一用戶友好、可靠的資產是市場上最先進的光刻膠系統之一，可用於工業和研究設施中的高質量、精密的微加工項目。
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