二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP #9300629 待售
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ID: 9300629
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
SOG Curing furnace, 8"
Cassette to cassette
Buffer indexer interface between SOG Track and furnace
Vertical / Horizontal laminar flow loader station
(3) Zone vertical tube furnaces
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP是為微電子工業中的大批量生產過程而設計的光刻設備。它是一種先進的工具,結合了最新的光阻技術和自動化的流程功能,能夠在保持流程控制的同時提供盡可能高的產量。該系統由預處理單元和晶圓處理單元兩部分組成。預處理裝置設計用於在加工進行之前在晶片上鋪設一層光敏材料膜。這種薄膜有助於確保均勻的塗層,這是可靠產量所必需的.晶圓處理單元設計為使用光刻來定義晶圓表面上的圖樣。這是通過對光致抗蝕劑的進一步處理和光致抗蝕劑剝離機中的清潔來實現的。DNS SCW-80A-AVFGLP具有高精度步進電機,可精確對齊晶圓表面上的螺距。這樣可以確保晶片上的圖樣準確且均勻。其他功能包括激光對準器，以實現更精確的運動，以及各種光學和電子傳感器和工藝，以確保高產量。該設備還具有自動分選功能,可快速對加工後的晶片進行排序。DAINIPPON SC-W80A-AVFG （LP）的性能由於機器提供的自動化而被報告為準確且可重現。軟件控制參數,例如溫度、曝光時間、工藝材料和工藝步驟。這有助於提供統一的結果選項時間。該工具還設計用於高吞吐量，步進電機每秒可處理多達6個晶圓。綜上所述，DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVFGLP是為微電子行業高通量生產而設計的高端光刻資產。激光對準器、自動化以及精確的運動和過程控制相結合，使其能夠以高產率提供準確、可重現的結果。
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