二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #293705460 待售
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DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVG光刻設備是一種專為半導體器件制造而設計的專業光刻系統。它利用先進的紫外線激光將圖樣精確地暴露在光刻膠（一種光敏聚合物，用於在半導體工藝步驟中制造遮罩）上。該單元結合了最新技術，例如高分辨率光學，以及經過優化的軟件接口，以提供出色的成像結果和過程可重復性。DNS SC-W80A-AVG包含一個超高分辨率步進/掃描儀，配有紫外線激光和光學器件，用於投影圖像圖樣並將其移動到光致抗蝕劑上。步進/掃描儀可以在掃描模式或激光模式下操作，為用戶提供最大的靈活性。機器還包括一個優化的圖形用戶界面（GUI），用於控制成像過程參數，如曝光和劑量設置。激光源不需要熱身時間，提供小至5µm的曝光點大小，是微電子行業的理想選擇。它旨在最大程度地減少暴露過程中可能出現的非聚焦或球面像差。此外,它還旨在減少成像過程中所需的掃描時間,提高吞吐量並消除等待時間。DAINIPPON SC-W80A-AVG還包括一個真空卡盤和一個可控的環境室，用於安全可靠的光刻膠加工。卡盤提供穩定和可重復的對準，其四點控制工具減少振動並產生高質量的圖像。環境室提供一個可控的大氣，並防止汙染，確保一個理想的環境光刻加工。資產還具有Z度控制、x-y方向信號調節、集中波束輸出控制、圖像邊緣增強等先進曝光控制功能。其整體精度為± 5 µm，可重復性為± 2 µm。SC-W80A-AVG還包括各種其他功能,例如數據存儲和檢索模型、診斷反饋設備和維護警報系統。對於要求最高圖像質量和可重復性的制造商和研發組織來說，這個單元是一個極好的選擇。
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