二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #9157627 待售

DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG
ID: 9157627
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Coater / Developer system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVG光刻設備是一種用於先進光刻工藝的工具。該系統利用最先進的光源和光掩碼技術提供了精度和可重復性。該裝置的核心裝有一個光源:氟化K準分子激光器。這種強大的激光器提供了深紫外線(UV)發光源,使一個小的特征尺寸能夠以高速和分辨率打印。DNS SC-W80A-AVG機器可以利用激光器的功率來產生小於10納米(nm)的特征尺寸。該工具還具有設計良好的光路,為操作提供精確的模式生成和光學對準。該光學器件具有一個浮動的可移動遮罩平臺以及支持遮罩和激光聚焦的固定光架。這樣可以精確地對準掩模和激光,確保模式重新對準+/-1 µm。DAINIPPON SC-W80A-AVG資產除了具有卓越的光學性能外,還具有先進的光掩模技術。這項技術的作用是在面膜和基板系統上分配光致抗蝕劑,使它們彼此隔離。使用先進的光掩模可確保掩模和基板不會發生光阻串擾或汙染,從而導致性能低下。總體而言,SC-W80A-AVG光刻模型是一種先進的光刻工具,提供卓越的光學和光掩模技術.其強大的KrF準分子激光器可實現極小特征尺寸的精密特征打印,而精密的光路則可確保精確的圖案生成和對準。此外,先進的光掩模技術可以防止汙染,使用戶能夠獲得優異的性能和可重復性。
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