二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #188553 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ是一種光阻設備，由模塊化處理工具組成，可以支持多種類型的光刻應用，包括單掩模成像和雙掩模成像（DM）。該系統專為滿足先進半導體光刻工藝的需求而設計，提供了一種能夠產生∅40 nm或更小特征的高精度、可重現的成像解決方案。該裝置配備了最先進的激光投影線寬（LPL）能力，能夠產生亞微米的配準和成像精度。它還能夠在3 nm內產生最精確的對齊標記，並具有可靠的覆蓋精度。機器的主要部件是投影鏡頭，其設計目的是將高分辨率圖像投射到晶圓上，有效場大小可達335毫米。透鏡工具利用0.82的高數值光圈（NA），可實現高聚焦深度和高分辨率。資產還具有電機驅動級，它提供了對晶圓上的對準和圖像位置的精確控制。該級利用一對精密的直線電動機軸，允許全自動對準圖像和晶圓。此外，該模型還具有溫度控制環境，以確保光致抗蝕劑以所需的劑量適當暴露。DNS SC-W80A-AVQ還包括一個復雜的工具界面,它提供了廣泛的用戶友好功能。它包括訪問預編程配方和監控工藝狀態的能力，以及能夠自動適應不斷變化的抗蝕劑和基板類型的自動工藝優化和參數設置。它還包括曲線擬合等獨特功能，使設備能夠適應抵抗特性的變化，以及超高精度的曝光控制能力，能夠使用先進的預測曝光技術進行精確劑量調整。總體而言，DAINIPPON SCW-80A-AVQ是一種先進的光刻系統，旨在為先進的半導體光刻工藝提供可靠和精確的成像解決方案。它配備了高精度的投影鏡頭、電機驅動的舞臺、溫度控制的環境、堅固的工具界面，以及幾個可以提高工藝精度和重復性的先進功能。