二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9373064 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ是一種自動化光刻處理設備,能夠在批量生產應用中處理大型晶片。它設計用於晶片的單層和多層處理,尺寸可達8英寸,能夠實現≤5µm的光掩碼配準精度。該系統還具有高速、高精度、多軸檢測和模式識別單元。DNS SC-W80A-AVQ提供了廣泛的功能,以確保高質量的輸出。它配備了一個自動晶片對齊機，能夠在處理過程中處理± 0.5 µm的光掩模和基板之間的不對準，並且能夠識別和拒絕不正確對齊的基板。該工具還具有高性能斜紋蝕刻資產,專門為高長寬比結構和嵌入式線/孔設計。此外,該模型還設計用於低成本和高生產率的操作。它配備了高速、高精度的傳輸設備，能夠達到≈8秒的循環時間，吞吐量高達200晶圓/小時。該系統還具有一個多層卡帶單元，能夠存儲多達20個光掩碼，使用戶能夠連續運行多個掩碼。DAINIPPON SCW-80A-AVQ配備了一系列監控功能。這些功能包括對基板對準和曝光條件的實時監控，以及一個專用的控制器單元，可以方便機器操作和監控。該工具還具有先進的數據管理資產,允許用戶存儲和查看流程特性和參數,並快速輸入新的單一或重復流程配方。為確保高質量輸出,DNS SCW-80A-AVQ采用集成缺陷檢測模型。該設備能夠檢測顆粒、折痕、剝落和發育不足等缺陷。它還配備了自動化的工作計劃和預算質量控制系統,可以檢測和分析工作計劃和預算上的異常信號,如彎曲、變薄和磨損。總體而言，SC-W80A-AVQ光敏處理裝置是一種高度先進的高性能機器，旨在促進批量生產應用。它提供了廣泛的功能,包括高速、高精度傳輸和模式識別系統,以及復雜的數據管理和監控系統。因此,DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVQ是任何需要高水平光掩模配準精度和缺陷控制的實驗室或生產環境的理想選擇。