二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A #293592644 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80A是一種自動化光刻設備，用於應用6「/8」半導體和平板顯示器的光刻和曝光後烘烤（PEB）以及其他大面積基板。它是一個全自動的、高度精確的系統，包括用於預烤、抗旋轉、光刻膠對準、曝光和PEB的精密控制過程。DNS SC-W80A裝置的關鍵特點是精度高、精度高。它配備了CCD顯微鏡工具和自主定位機，允許光刻膠精確對準和定位到基板上。它還具有雙重振蕩機理，保證均勻的抗性塗層具有一致且可重復的厚度，從而確保高產率並產生均勻的工藝結果。光致抗蝕劑曝光過程采用無掩碼曝光工具進行，該工具結合了光學和數字技術，以提供卓越的圖像精度和分辨率。該資產還配備了數字曝光模式發生器和快速光纖控制器，可加快曝光時間，提高曝光精度。曝光後烘烤步驟也以高精度和重復性進行。該模型配備了高速烘烤烤箱和先進的控制技術，以確保晶圓的均勻烘烤，從而獲得一致和可靠的後烘烤結果。總體而言,DAINIPPON SCW-80A結合了最先進的技術和工藝,為客戶的生產線提供可靠和可重復的光刻設備。它保證了在旋轉、曝光和烘烤過程中的高精度，從而產生優越的產量和均勻的工藝結果。其先進的自動化功能還可確保縮短過程時間和提高靈活性,從而提高產品質量和提高成本競爭力。