二手 DNS / DAINIPPON SC-W80A #9269116 待售

DNS / DAINIPPON SC-W80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SC-W80A
ID: 9269116
晶圓大小: 8"
Coater, 8".
DNS/DAINIPPON SC-W80A是一種功能齊全的光刻設備,用於單晶圓光刻。該系統由單級晶片架、晶片定位單元和掃描儀組成。它具有廣泛的光刻膠選項,允許它用於各種蝕刻應用。該機器使用標準的光掩蔽和圖樣設計方法,以及高達100mW的光源,在晶片表面上繪制抗蝕劑的圖樣。該工具具有8英寸的晶圓容量,帶有可調晶圓板以容納不同的晶圓尺寸。晶圓座的運動範圍可達80度,使晶圓在曝光時能夠精確定位。DNS SC-W80A配備了多軸掃描資產,可提供1.2um分辨率、高達30mm/sec掃描速度和1 μ m可重復精度。此外,該模型能夠同時掃描四種不同的模式,這些模式可以在軟件中進行預設。這樣可以確保快速高效地生成高精度的模式。該設備還提供完全自動化,便於操作.自動輸入過程使用觸摸面板控制系統和條形碼標簽,確保所有所需材料快速加載。此外,該單元還提供了一個直觀的用戶界面,可用於自定義設置和控制晶圓進程。最後,DAINIPPON SCW-80A包括一系列高級功能,以確保獲得最高質量的結果。其中包括一臺壓力控制機,以保持準確的零點暴露水平;自動曝光校準;暗場和暗紋校正;以及自動工具檢測和清潔功能。這些特性是這款高性能光刻膠工具的標誌,一次又一次地提供可靠一致的結果。
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