二手 DNS / DAINIPPON SC-W80B-AVPE #9316693 待售

DNS/DAINIPPON SC-W80B-AVPE Photoresist Equipment是一種用於半導體器件處理的多合一系統。這個單元提供了全方位的特點，包括能夠塗覆和幹燥，開發，蝕刻，和自旋上大面積基板。機器高度自動化，可以對塗層工藝進行精確的控制和詳細的反饋。DNS SC-W80B-AVPE Photoresist Tool基於DNS Screen打印機,該打印機具有精確的五軸對準資產,用於塗覆基板,精度高達5微米。打印機具有420 x 420 mm的畫框輪廓,分辨率高達20 µm。它還包括一個用於粗對準的區域攝像機、確保基板快速和容易安裝的真空架，以及一個送料基板的輸送機模型。設備有四種不同的幹燥烤箱，可以容納寬達12英寸、長達50英寸的基板。該系統還具有一系列過程控制功能。單個遠程控制單元可以控制整個單元，允許用戶手動或自動控制所有進程。該單元具有用於掩碼對齊的內置自動修邊功能,以及用於高級對齊和模式識別的數字圖像處理功能。此外,該機器還包括一個超高精度的旋轉單元,用於旋轉光刻膠和薄膜材料層,以及一個反向剝離功能,以幫助確保層厚度的均勻性。DAINIPPON SC-W80B-AVPE光刻工具效率高,吞吐量高達每小時800晶圓。它設計用於高精度生產環境。此外,該資產的設計符合ANSI/ESD標準,符合RoHS標準,確保其對生產工人和操作環境都是安全的。SC-W80B-AVPE光刻膠模型非常適合生產高性能半導體器件。它可靠，易於使用，提供卓越的精度和精確度。通過利用數字圖像處理、先進邊緣修剪等先進功能，以及其高速運行，設備每次都能幫助保證質量設備的生產。