二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN SK-W80A #293642826 待售

DNS/DAINIPPON/SCREEN SK-W80A是一種利用先進特性提供高性能、高精度薄膜基板光刻圖案的光刻設備。這種光致抗蝕劑系統采用非接觸式自旋顯影劑和更廣泛的標準工藝化學品的組合，以實現最大的耐用性和可重復性。該單元的工作原理是，采用加法或減法技術進行微光刻，采用薄膜旋轉抗蝕層，該層暴露於光源，如激光或掃描光學機器。然後通過一系列化學浴處理抗蝕層，然後再塗上二次光致抗蝕劑材料。這種二次抗蝕劑材料暴露在紫外線（UV）光下，然後置於顯影浴中，在基板表面上形成一層正負圖案。最終圖樣的分辨率和精度取決於光源的圖樣和工具在酸蝕烘烤過程中保持的參數。DNS SK-W80A能夠為包括Si3N4和SiO2在內的各種薄膜材料再現各種微型模式。該資產配備了許多專門功能，以確保在陣列制作過程中的高精度和可重復性。首先，它配備了一個速度計，監測旋轉器的轉速和控制旋轉時間和壓力，以確保均勻的模式。此外，它的能量分散噴嘴設計有助於確保均勻的自旋材料覆蓋，同時減輕由於溶劑蒸發引起的遷移。此外，該模型還配備了一個先進的圖像處理軟件設施，能夠在操作人員輸入最少的情況下實現準確和可重復的過程。最後，該W80A還能夠模擬特征尺寸和相對位置的影響，使光刻參數易於調整和微調。憑借其先進的功能，SCREEN SK-W80A是生產高精度薄膜微結構的理想解決方案。這種光致抗蝕劑設備利用卓越的技術和可重復的工藝控制來保證一個一致的頂級結果，為生產各種設備提供了必不可少的組成部分。憑借其集成的軟件、可調參數和微調能力，W80A系統是精密微光刻加工的最佳選擇。