二手 DNS / DAINIPPON SCW-622-B #9111281 待售

DNS/DAINIPPON SCW-622-B是一種用於電子半導體加工中的掩模對準光刻應用的光刻系統。設備包括計算機控制的晶片級、數字成像系統，以及用於掩模預對準和微調的對準級。該級采用兩軸傾斜和旋轉能力設計，可處理直徑達200毫米、高度達30毫米的晶片。它還包括用於在晶圓上精確定位掩模組件的精確線性級。數字成像裝置包括一個自動對準器和一個攝像機，用於目視檢查掩模和晶片之間的對準。機器還包括一個軟件控制的覆蓋工具，使精確的圖像為基礎的對齊。該資產配備了高分辨率的電動投影光學頭和手動投影光學模型。投影光學元件使蒙版圖像能夠直接投影到晶片上,從而保持接觸蒙版圖案的大小和形狀。該對準裝置具有激光定位器和預對準的微米分辨率光學激光器，以及用於微調掩模配準的亞微米激光傳感器。該設備配置用於通過百葉窗打開/關閉掩模腔和晶片進行機器人加載。該系統能夠在低溫下運行，包括一個用於處理項目光學器件下遊晶片的內置真空裝置。DNS SCW-622-B光刻機非常適合用於半導體IC制造，包括細線陣列和驅動電路。該工具也適用於液晶平板顯示器的生產。此外，該資產能夠處理各種抗蝕劑和暴露溫度。這允許應用程序,如厚薄膜陣列、凹凸模板和其他需要極高精度和精確度的復雜布局模式。