二手 DNS / DAINIPPON SCW-636-BV #9269117 待售

DNS / DAINIPPON SCW-636-BV
ID: 9269117
晶圓大小: 5"-6"
Coater systems, 5"-6".
DNS/DAINIPPON SCW-636-BV是DNS SCW有限公司制造的光刻膠設備。該系統是一種先進的前沿光刻裝置,用於微電子器件的研制和制造。DNS SCW-636-BV具有完全集成的光刻塗層機,具有光源、洪水暴露、對準、漂洗和自旋幹燥單元,以及完全可定制的光刻層。它為用戶提供了前所未有的定制和控制光刻塗層和沈積過程的水平。光刻工具設計用於生產細螺距電路板。其集成光源可覆蓋400nm-1,200 nm的極寬波長範圍。這可以用來利用先進的光子半導體光刻(PSL)技術。洪水暴露單元采用精密玻璃滑梯構建,在整個過程中提供均勻的均勻暴露。該對齊器采用先進的模式識別軟件設計,能夠準確對齊光刻膠的應用過程。這確保了光相片被精確地再現並沈積在基板上。沖洗和自旋幹燥裝置配有高精度電機控制器,以確保沖洗均勻進行,避免汙染基板。光刻膠層的可自訂性讓使用者可以為每一層選擇完美的處理技術組合,使得對光刻膠過程的控制達到前所未有的水平。這樣可以精確復制具有平滑和均勻曲面的陣列。總體而言,DAINIPPON SCW-636-BV是設計用於微電子學的最先進的光阻資產。它具有一套集成的組件,包括光源、洪水暴露、對準器、沖洗和自旋幹燥裝置,可用於多功能和精確的光刻膠應用。其可定制的光刻膠層提供了前所未有的控制水平,而其精密的馬達和玻璃幻燈片則確保了光刻膠的精確再現,並具有均勻的塗層和表面。
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