二手 DNS / DAINIPPON SD-200W-AVPE #9157629 待售

DNS/DAINIPPON SD-200W-AVPE光刻設備是一種功能強大、用途廣泛的開發系統,為各種光刻應用提供先進的技術和最高的性能。它利用防腐塗層，暴露和開發過程具有很高的精度和可重復性。該裝置非常適合半導體和HDI/微電子器件的制造。該光刻機由一個多瓣旋轉狹縫噴嘴沈積頭組成，允許在抗蝕劑的應用中具有更高的均勻性，一個冷卻的雙光束電動X-Y級，以及一個自動化的工藝序列單元。多瓣旋轉狹縫噴嘴沈積頭可提供精確、可重復的防腐塗層性能，具有易於調整的微調工藝能力。它配備了三個獨立控制的抵抗噴嘴，能夠在不同濃度水平下提供抵抗，使工具能夠以更高的精度執行抵抗模式。冷卻的雙梁電動X-Y級設計為晶片樣品在抗蝕劑處理過程中提供平滑、無振動的定位，包括一個大的分柱平臺，方便安裝多個晶片載體。機動階段允許精確的樣本移動，以確保在整個運行過程中準確和一致的抵抗模式。自動化過程序列單元負責控制整個過程，從縮放圖像的大小到晶圓樣本的記錄測試。它還存儲每個示例運行中的數據,並允許自動比較結果。使用此設備,工程師可以隨時間優化資產性能並提高產量。總體而言，DNS SD-200W-AVPE光刻膠模型為各種光刻膠應用提供了先進的技術和高性能，提供了準確、可重復、可靠的抗蝕劑處理。該設備從多葉旋轉狹縫噴嘴沈積頭到自動化工藝序列單元，提供了一套全面的特點，成為半導體和HDI/微電子器件制造的理想選擇。