二手 DNS / DAINIPPON SD-80BW-AVQ #293597087 待售

DNS / DAINIPPON SD-80BW-AVQ
ID: 293597087
Developer system.
DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVQ是為電子元件和其他基板的高速曝光而設計的光阻設備。它是一個自動化系統,使用光束掃描方法提供精確準確的曝光能力。該單元采用多減速器快門(MDS)和聚焦射頻(RF)曝光,並具有廣域光曝光控制功能。該機使用脈沖氙弧燈提供樣品的最佳曝光。這使得它與廣泛的曝光參數兼容,使得不同的材料具有不同的厚度和結構。曝光時間可由MDS快門精確控制。MDS具有較高的曝光特性,允許每次掃描曝光時間高達0.1秒。該工具采用廣域光照射控制資產(WAEC)設計。WAEC提供低至3 nm的曝光精度,這使得它適用於極小的基板或MEMS(微型機電系統)。廣域曝光控制還通過調整光圈、快門速度和曝光時間為用戶提供了一系列絕佳的曝光選項。這使用戶能夠根據自己的特定需求優化曝光。該模型還配備了光電子清潔設備,在接觸前從樣品中清除灰塵顆粒和其他材料。OEC系統旨在去除金屬、碳等可能幹擾暴露過程的汙染物。這確保了更好的附著力,最大限度地提高了接觸的質量。DNS SD-80BW-AVQ具有一個自動化的實時表面檢測單元,它提供了基板表面的詳細圖像。實時表面檢查確保均勻暴露,並確保不同厚度和結構的基板均勻暴露。機器提供了一個糾正不均勻曝光像素的曝光校正功能。該工具附帶了一組軟件工具和用戶界面,使用戶能夠管理和監視曝光設置、曝光時間和曝光控制。軟件包括內置作業列表、波形監控和控制、自動鏡頭控制。這些軟件工具使用戶能夠根據自己的特定需求創建曝光設置。DAINIPPON SD-80BW-AVQ光刻膠資產具有很高的性能和可靠性,適用於各種基板和曝光要求。自動化的OEC和表面檢查系統可確保精確和均勻的暴露,而WAEC和暴露校正功能可提高暴露精度。用戶界面和軟件工具使用戶能夠輕松管理曝光設置並監控曝光進度。所有這些功能使SD-80BW-AVQ成為可靠、精確地曝光電子元件和MEMS的理想選擇。
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