二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVN #9148335 待售

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVN是一種光致抗蝕劑設備，設計用於處理聚合物薄膜和產生微結構。該系統是為光刻工藝設計的，以便將圖樣轉移到光刻材料上，然後將其用於在基板表面上創建微結構。該單元有一個集成的用於分配和開發聚合物的自旋塗層模塊，使得能夠生產厚度在50 nm至1000 µm之間的薄膜。自旋塗層與DNS SD-W60A-AVN的高速精密運動機構相結合，保證了圖樣向基板的精確傳遞。該機利用半自動化機制精確控制曝光和開發過程。用戶可以選擇曝光參數來優化模式形成的速度、分辨率和清晰度。該工具裝有一個四軸運動控制單元，以確保最小臨界尺寸為1 µm，即使對於細結構也是如此。DAINIPPON SD-W60A-AVN采用幹膜裝置設計，用於光刻塗層工藝。該單元由預保濕、幹燥、烘烤模塊組成，可實現一致可靠的塗層效果。此外，該資產還配備了綜合檢查模式，用於監測過程和確保高質量的結果。該設備還提供了自動裝載機和卸載機，用於應用和拆卸基板。這可以通過減少處理基板所需的時間來提高吞吐量。在安全方面，系統包括防靜電設計，防止靜電損壞，確保過程穩定。SD-W60A-AVN是聚合物薄膜光掩模設計和生產的有效、可靠的設備。該機以其高精度和高通量，在半導體和光掩模工業中被廣泛應用於生產各種微結構。