二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235504 待售

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP是一種光刻工藝設備,使用戶能夠創建具有精確控制的光機械設備。它有一個先進的沈積室，有多組光掩蔽，這使得非常精確的打印開發和圖樣的精確轉移到基板上。該系統有兩個獨立和獨立的沈積室：一個用於液體，一個用於固體光致抗蝕劑。這提供了許多優點，包括能夠迅速改變接觸條件，而不會對腔室之間的物質造成任何交叉汙染。光致抗蝕劑工藝單元還配備了高分辨率顯微鏡，允許用戶根據需要精確監控不同的工藝參數和調整沈積參數。此外，該機還包括一系列先進的數字控制器和接口，便於精確操作，使模式控制更加高效。集成光學顯微鏡為濕法和幹法提供了卓越的成像效果，分辨率為0.25微米。它提供實時的流程監控功能,能夠快速測量和控制流程參數。內置曝光板由具有高透射和反射質量的石英玻璃制成，提供精確控制光強度和方向的能力。它還具有廣泛的位置，以適應不同的掩模尺寸和基材厚度。該工具配有自動噴膜器，可編程為有選擇地、準確地將光敏膠片塗在基板上。這些薄膜可以用來創造眾多的光機械特性，如各種細線和空間模式的電中性器件過程控制。DNS SD-W60A-AVP提供了廣泛的控制功能,允許用戶立即為每個作業輕松選擇最合適的流程設置和參數。用戶還可以存儲自己喜歡的設置以供將來使用,從而提高生產效率。總體而言,DAINIPPON SDW-60A-AVP光刻膠資產是創建精確光機設備的先進且通用的模型。