二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9275258 待售

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE
ID: 9275258
晶圓大小: 6"
System, 6".
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE是為滿足現代半導體加工需求而設計的最先進的光刻設備。該系統能夠對晶片表面的薄膜層進行高精度對準和曝光,從而能夠制造復雜的集成電路和IC組件,並實現先進的多層封裝。DNS SD-W60A-AVPE具有高分辨率、四孔頭對準單元,能夠在大型工件上實現亞微米連續對準精度。四袋頭機還可以準確曝光自上而下和側面的圖案。該工具包含一個opto機制,可確保高精度和可重復性,即使在處理復雜模式時也是如此。DAINIPPON SD-W60A-AVPE利用了所謂的全視場對準攝像頭,它提供了優於其他對準系統的性能。此相機使資產能夠在晶片上完美對齊圖案化的圖層,即使圖層的大小或材料不同。此外,該型號還配備了環保高效的水冷設備,確保IC晶片在整個暴露過程中保持在穩定的溫度範圍內。SD-W60A-AVPE的主要特點是其高度精確的自動化光刻系統(APRS)。APRS包含兩個集成部分-一個可編程曝光工具和一個創新的沈積工具。可編程曝光工具使用戶能夠在晶圓表面上快速準確地創建復雜的圖樣,從而無需手動對準或定位。沈積工具可確保單層光刻膠在晶片表面的均勻沈積,從而實現特征和薄膜層的選擇性塗層等應用。此外,DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE支持多種光致抗蝕劑材料,包括非環氧樹脂材料,這為用戶選擇最適合其具體應用的材料提供了靈活性。該裝置還設有一個集成的清潔機,可清除兩次曝光之間的殘留材料,並便於準確控制沈積的光刻膠層的厚度。當需要精確的過程控制和可重復性時,這種控制尤為重要。總體而言,DNS SD-W60A-AVPE是一種創新的光刻工具,能夠對晶片表面的薄膜層進行高精度對準和曝光。該資產的精確度和可重復性使其適用於芯片和封裝的設計和制造。其自動化的光刻膠模型、全視場對準攝像機和冷卻設備保證了每一個周期都具有令人印象深刻的精確度。因此,DAINIPPON SD-W60A-AVPE對於那些在其半導體制造應用中需要高精度光敏處理的人來說是一個極好的選擇。
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