二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A #293821621 待售

DNS/DAINIPPON SD-W60A是為高生產率晶圓加工而設計的光刻設備。它提供了一種快速可靠的方式來在框架上塗覆和暴露設備,特別是用於生產平板顯示器（FPD）。該系統配備了用於液態光刻膠應用的先進高精度分配器，以及內置的幹燥機構，以確保抗蝕劑在暴露前均勻幹燥。DNS SD-W60A使用高級掩碼對齊模塊,該模塊提供自動對齊、精確曝光以及簡單直觀的操作。它還具有一個新的光學單元，它利用一個球形透鏡和兩個光學傳感器來精確對準掩模圖樣相對於底層基板。該機器能夠精確放置圖案,分辨率可降至50 um。高級對齊模塊允許用戶快速註冊幀以確保精確的結果。此外,DAINIPPON SD-W60A的自動曝光過程提供了對FPD和TFT幀的輕松、可重復和精確的曝光控制。此外，它還具有高速的四級曝光功能，可確保抗蝕劑的均勻曝光。該工具還配備了精密的清潔技術和特殊的清洗室，大大減少了循環時間所需的時間。最後,SD-W60A的集成工程軟件允許用戶創建復雜的掩碼,並使用易於使用的界面管理曝光數據。業務智能和高級分析工具使工程師能夠優化流程並準確監控生產性能。總體而言,DNS/DAINIPPON SD-W60A光刻膠資產為高生產率晶圓處理提供了經濟高效且可靠的解決方案,提供了先進的掩模對準模塊、自動曝光過程、先進的清潔技術和集成的工程軟件。該模型被證明是確保FPD和TFT框架上設備均勻、一致塗層和曝光的有力工具。