二手 DNS / DAINIPPON SD-W60A #9068908 待售
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DNS/DAINIPPON SD-W60A是一種用於優化光刻工藝的高精度、高性能光刻設備。該系統采用了獨特創新的自動層重映射技術,加上尖端的自動晶圓對準單元。這使得機器能夠適應最復雜的光刻結構,同時保持極高的工藝精度。工具本身由一系列元件組成,包括主CDM-4000A曝光控制單元、DVT-4050鏡頭單元、LWV-6050鏡頭對準單元、XSM-6050線性步進電機和DLT-6500曝光控制單元。資產還利用由高分辨率相機和CCD組成的先進的曝光前成像模型。每個組件在集成光刻設備中都起著關鍵作用。主CDM-4000A提供了一個高級光阻控制單元,具有陣列對齊、圖層選擇和優化的功能。該DVT-4050專為控制曝光和步進電機運動而設計。它還包括對準、聚焦和曝光率的自動校正。LWV-6050透鏡對準系統提供了曝光晶片的最佳對準。XSM-6050電動機以最小8微米的間距掃描晶片,可以調整以加速曝光過程。DLT-6500進行單色或彩色塗層沈積。DNS SD-W60A單元提供的工程解決方案能夠生產各種原型和批量生產的光刻元件。其應用在精密平板顯示器、微機電系統、有機發光二極管顯示器、全息數據存儲元件的制造中尤為有利。該機還用於生產纖細鉆頭、尖端等微機加工元件。與傳統的光刻工藝相比,DAINIPPON SD-W60A工具還具有許多優點。它的速度和整個資產可以通過單個圖形用戶界面進行控制的事實提供了改進的工作流監控,而自動層重新映射功能則提供了改進的陣列精度和可重復性。此外,該模型與幾種常用的曝光材料兼容,包括紫外線光刻膠和光聚合物。總體而言,SD-W60A是面向需求苛刻用戶的高端光刻設備。它提供了精確度、速度和優化處理解決方案的組合,使批量生產具有更高的效率。該系統先進的對齊和成像技術可改進工作流管理,提高陣列的準確性和可重復性,並縮短曝光時間。適用於廣泛的應用,為光刻任務提供了絕佳的平臺。
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